干式真空機組

　　當電機開始工作時，電機通過電機齒輪傳遞給介輪，再由介輪傳遞給主動齒輪帶動同步從動齒輪做同步反方向運轉，主動軸、從動軸便帶動一級轉子、二級轉子、三級轉子、四級轉子進行連續吸排氣做功，被抽氣體通過進氣口,進入進氣口通道，在一級轉子對的壓縮下，一級泵腔內的氣體通過一級排氣道,進入二 級泵腔，二、三、四級泵腔內的氣體做同樣的運動，經四級排氣道進入冷凝緩沖區，液體流向排液道,通過液體收集口可直接回收，殘存氣體通過消聲器，排氣口排出泵外，從而起到抽真空以及氣液分離的作用。